浙江某半导体工厂抗微震平台安装案例

摘要： 浙江某半导体工厂抗微震平台安装案例随着科学技术的创新以及发展， 电子行业在精密仪器制造过程中会更多地利用半导体。在半导体主要用于制造半导体芯片，而半导体集成电路中重要的原料之一就是...

浙江某半导体工厂抗微震平台安装案例

随着科学技术的创新以及发展， 电子行业在精密仪器制造过程中会更多地利用半导体。在半导体主要用于制造半导体芯片，而半导体集成电路中重要的原料之一就是硅。因此， 这里所讲的晶圆主要是硅晶圆。在晶圆制造的过程中对环境的要求非常严格。为了保证晶圆半导体的良率， 需要在洁净厂房中进行生产的同时， 有效把控关键工艺机台的微震设计， 还需要积极应用微震控制技术， 从各个方面做好微震控制， 确保晶圆半导体的生产质量和良率。

在半导体洁净厂房中应用微震控制技术是十分有必要的。贝尔金®主要对半导体厂房需要满足的条件进行分析，同时， 通过对半导体厂房的结构抗微震检测、 抗微震设计及管道抗微震措施进行探究， 论证微震控制技术对半导体洁净厂房的重要性。因此， 企业在进行半导体洁净厂房设计时， 需要安装抗微振平台这一环节， 按照合理的顺序及方案来进行厂房的抗微震设计。

近期江苏泊苏系统集成为浙江某一半导体生产公司安Type C抗微振平台， 该项目生产线的生产能力较强， 每月生产12万片300mm产品， 半导体制程的线宽控制技术也达到了较领先的28/14 nm工艺制程要求。因此， 其洁净厂房的微震控制要求是属于较高的， 需要达到Type C区线 。

下图为安装现场