专家解读65纳米光刻机的分辨率近期，互联网上关于“65纳米光刻机”的讨论颇为热烈，但诸多言论缺乏权威依据，导致不少人对这一技术概念的理解愈发模糊。有人仅凭“8纳米套刻精度”来阐释65纳米光刻机的分辨能力，这种简化处理加深了混淆。幸运的是，随着科普工作的推进，大众逐渐达成一项共识：提及的65纳米分辨率...